科技日報(bào)記者 金鳳

不管是做研究還是做研發(fā)，得先“看”到，才能做到。6月28日，蘇州博眾儀器科技有限公司（以下簡稱博眾儀器）發(fā)布國產(chǎn)首臺商用200千伏場發(fā)射透射電子顯微鏡BZ-F200。該顯微鏡的點(diǎn)分辨率達(dá)到0.25納米，晶格分辨率達(dá)到0.14納米，能夠直接分辨絕大多數(shù)材料的晶格結(jié)構(gòu)。

“創(chuàng)業(yè)的路途是異常曲折的，我們最初沒有人才、沒有技術(shù)、沒有供應(yīng)鏈，缺乏客戶與資金，困難重重下團(tuán)隊(duì)也曾迷茫。是解決國家關(guān)鍵技術(shù)的堅(jiān)韌信念，讓團(tuán)隊(duì)走到了今天。”博眾精工董事長呂紹林在當(dāng)日的發(fā)布會中坦露心跡。

透射電子顯微鏡是一種高分辨率的微觀分析儀器。顯微鏡中的電子束穿透樣品后，會攜帶樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息，這些信息經(jīng)過放大系統(tǒng)成像后，可放大百萬倍，從而幫助使用者觀察原子級圖像。透射電子顯微鏡廣泛應(yīng)用于納米級的研究與觀測，是材料科學(xué)、生命科學(xué)和半導(dǎo)體等領(lǐng)域研究所必需的高端儀器設(shè)備。

BZ-F200的研發(fā)歷時(shí)5年。博眾儀器技術(shù)總監(jiān)梁晶博士介紹，此前，高端透射電鏡產(chǎn)業(yè)長期被國外儀器公司壟斷，核心零部件受到國外技術(shù)封鎖，針對這項(xiàng)痛點(diǎn)，博眾儀器陸續(xù)實(shí)現(xiàn)了熱場電子槍、超高穩(wěn)定度電源、熱場電子源、精密加工鏡筒、納米級測角臺等核心零部件的自主生產(chǎn)，并在用戶先期試用中得到驗(yàn)證。

梁晶介紹，該顯微鏡主要聚焦材料研發(fā)以及前沿科學(xué)領(lǐng)域，適用于晶格尺度的結(jié)構(gòu)解析、缺陷分析、界面表征以及成分分析等研究。

“經(jīng)過5年的技術(shù)攻關(guān)與反復(fù)錘煉，我們已將BZ-F200從整機(jī)到每一個關(guān)鍵零部件的全鏈條關(guān)鍵技術(shù)牢牢掌握在自己手中。”博眾儀器總經(jīng)理唐愛權(quán)表示，未來，博眾儀器將堅(jiān)定專注于電子束關(guān)鍵技術(shù)，不斷完善產(chǎn)品線，并通過為業(yè)內(nèi)提供電子束技術(shù)應(yīng)用與服務(wù)，賦能產(chǎn)業(yè)生態(tài)建設(shè)。

如果將透射電鏡比作材料科學(xué)的“眼睛”，那么高分辨成像與電子衍射技術(shù)便是這雙眼睛的“瞳孔”。活動現(xiàn)場，重慶大學(xué)教授張大梁作為BZ-F200用戶代表表示：“微觀結(jié)構(gòu)表征對于理解材料的應(yīng)用屬性至關(guān)重要，該顯微鏡在復(fù)雜晶體結(jié)構(gòu)解析、微區(qū)結(jié)構(gòu)表征和納米尺度形貌分析等領(lǐng)域發(fā)揮著不可替代的作用。”

全國政協(xié)委員、清華大學(xué)教授段文暉認(rèn)為，博眾儀器高效結(jié)合了高等院校、科研機(jī)構(gòu)對儀器的基礎(chǔ)研究，并在短短兩年時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)從原型機(jī)到商用整機(jī)的正式發(fā)布，為我國的高端科研儀器發(fā)展闖出了一條新路。

人才是支撐高水平科技自立自強(qiáng)的重要力量。作為博眾儀器重要合作單位代表，蘇州大學(xué)校長張橋表示，蘇州大學(xué)將繼續(xù)攜手博眾儀器，全力支持中國科研儀器產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。